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了解電子特氣的淨化技能
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了解電子特氣的淨化技能

創建時間 2018-07-26 17:35:22

  随着半導體和微電子技能向更高功能、更高集成度的開展,對電子特氣的純度提出了越来越高的需求,電子特氣的淨化就顯得尤为重要。目前國内的超高純度淨化技能首要依靠進口,本身的技能水準(6N)與國際先進水平(8-9N)有較大距離。

  本項目将描繪和研制一系列高效、高容量、高選擇性、低成本的新式納米淨化劑,對MO源、惰性氣體、氫化物氣體、反響性氣體、腐蝕性氣體等5個系列,50多種電子特氣進行結尾淨化,使電子特氣純度由ppm級進步到ppb、ppt級,并将特氣傳輸和控制系統對氣體純度的影響降至最小,然後極大地改進工藝才能,下降産物缺點, 進步制程的産值,滿足下一代半導體、微電子以及關聯高技能開展的需求。本項目将構成有自主知识産權的超高純度電子特氣淨化技能,處理超高純度電子特氣淨化这一核心技能的國産化問題。

  配资盘氣體産品的生産工藝为本公司专利技術,具有自主知识産權,填補了國内高純配资盘産品生産空白。配资盘産品參照SEMIC3.35-1101HCl标準,并執行國家标準GB/T24469-2009(電子級)和企业标準Q/ZWDL001-2006(化学級)。配资盘産品采用HCl专用鋼瓶包裝,鋼瓶符合國标GB5099-1994或DOT3AA标準,瓶閥为316L不鏽鋼隔膜式閥,接口为CGA330。本公司提供配资盘专用配套設施、設備、閥門、減壓器,并提供優質技術服務和售後服務。本公司具有完備的配资盘专用鋼瓶脫水設備和技術,为客戶提供鋼瓶處理和維修服務。

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